洁净技术是为了满足实验研究和产品加工中对精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性的要求而诞生的新技术。洁净室这个名词和概念起源于18世纪60年代的欧洲医学。当时的认识仅限于处置室、手术室等灭菌处理的工作环境，可以控制喷洒消毒后伤口的感染率。现代洁净室工程虽然沿用了这个名字，但它的定义和内涵与最初的概念有着根本的不同。现代洁净室形成了一种专门技术，它的历史只有半个世纪。

中国洁净技术的发展大致可分为以下几个阶段：

● 20世纪60年代开始——服务于三线建设——初始发展阶段；

● 70年代到80年代——服务于大规模集成电路会战——首次大普及。

● 80年代中期至今——服务于医药行业生产环境的现代化(GMP、洁净手术室建设等)——第二次大普及。

1)20世纪50年代中期到60年代中期，主要借鉴前苏联的技术服务于国防、航天、原子能工业和科学研究。与现代洁净技术相比，在厂房、设备、气流组织等方面都显得较为原始粗糙，属于起步阶段。

2)20世纪60年代中期到70年代后期，由于国内外各种原因，主要靠自力更生发展。当时，参照美国和日本的标准和技术，逐渐研制出高效过滤器和纳焰法试验台、洁净工作台、粒子计数器、装配式洁净室和其他洁净室工程设备(空气喷淋室、传递窗、余压阀等)，并编制了《空气净化技术措施》，奠定了中国洁净技术的基础。

3)20世纪70年代末至80年代末，由于国家改革开放政策的实施，发达国家的技术和设备开始进入中国市场，现代洁净技术在大规模集成电路、光导纤维、彩色显像管、液晶显示屏等工业洁净领域发展迅速。成功研制了配备0.1um高效过滤器的10级净化小室和无隔板过滤器。同时，在医疗、制药、生物、化妆品和食品行业生物洁净室中也得到了应用。一些制药厂在原有空调系统的改造中开始采用生物洁净技术。医院采用简易的水平“单向流”洁净室和装配式无菌病房。生物安全工作台和细菌采样仪研制成功。1982年，公布中国医药行业GMP；1983年，成立中国电子学会洁净技术分会；1985年，颁布GBJ73-1984 《洁净厂房设计规范》，中国的洁净技术进入稳步发展阶段。

4)20世纪80年代末至今，大规模集成电路领域全面引进外资、技术和设备，形成了一批国际知名品牌企业。洁净室的规模越来越大，风机过滤机组（FFU）和微环境技术得到了应用和推广。洁净技术在医、药领域趋于成熟和标准化，生物安全技术发展迅速。与洁净室工程相关的技术装备，包括微环境、密褶型无隔板高效过滤器、微计算机控制过滤器性能测试台等，基本可以在国内制造，0.1um光刻机及相关环境的研制也已经开始。

经过50多年的发展，中国的空气洁净技术已经形成了比较完整的技术体系和广阔的应用市场。但必须注意的是，由于各种原因，中国在洁净技术高端领域和市场中仍然存在差距和缺乏话语权，需要科技和工程技术人员的不断努力。

如今，中国的洁净技术已经发展到了以下的水平：

①从军工到民用——制药、医疗和食品；

②从高精到普及——不仅高精产业有需求，一般民用行业和家庭生活也需要大量需求；

③从国内到国外——空气净化产品和洁净室工程已经走出国门。