无尘车间常用名词
来源于：普知建设
发布时间：2021-04-23
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▲无尘车间：无尘车间是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘车间也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
▲微粒控制：无尘车间微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘车间管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
▲外来污染源：从无尘车间外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
▲稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘车间。例如在 Class 10000的无尘车间，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，不要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效地稀释微粒。
▲气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此越洁净的无尘车间或是无尘区域，对气流模式的掌控就越重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
▲非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘车间，洁净度较低的无尘车间都是用非单一流向型气流以节省成本。
▲单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘车间称为单一流向型无尘车间，又称为层流型无尘车间。高洁净度的无尘车间需要单一流向型气流。
▲As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的无尘车间，但并没有设备及操作设备的人员，又称为空态无尘车间。
▲At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设备皆已完成的无尘车间，设备已加载并可以操作或已在运转，但没有操作设备的人，又称为静态无尘车间。
▲Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状态可以呈现和达到其正常的功能，又称为动态无尘车间。
▲空气洁净度：表示空气洁净的程度，以含尘浓度衡量，含尘浓度高则洁净度低，反之则高。
▲空气洁净度级别：以数字表示的空气洁净度级别，级别越高，数字越小，洁净度则越高，反之洁净度越低
▲级别上限：级别含尘浓度的最大上限值。
▲浮游菌浓度：经过培养得出的单位体积空气中的菌落数个/m。
▲沉降菌浓度：用Φ90mm的培养皿静置室内30min,然后培养得出的每个皿的菌落数。
▲尘埃粒子：表面和气体中的固体物质。
▲颗粒：颗粒可以定义为特定尺寸，液态或固态或两种状态的物质。由美国联邦209E标准定义的粒度范围为0.001微米至1微米。 ISO 14644标准将粒子定义为具有确定物理边界的小粒子。
▲颗粒浓度：每单位体积空气中的颗粒数。
▲粒径：粒子出现在显微镜观察平面上的最大线性形状因子，或由自动检测器检测到的粒子当量直径。
▲超细颗粒：颗粒的范围从约0.01微米到离散颗粒计数器的颗粒尺寸检测的上限。
▲微粒控制：无尘车间微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘车间管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
▲外来污染源：从无尘车间外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
▲内部污染源：无尘车间内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
▲隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘车间，或是使用迷你无尘车间（洁净棚）将机台整个包住。
▲稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘车间。例如在 Class 10000的无尘车间，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，不要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效地稀释微粒。
▲气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此越洁净的无尘车间或是无尘区域，对气流模式的掌控就越重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
▲非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘车间，洁净度较低的无尘车间都是用非单一流向型气流以节省成本。
▲单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘车间称为单一流向型无尘车间，又称为层流型无尘车间。高洁净度的无尘车间需要单一流向型气流。
▲As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的无尘车间，但并没有设备及操作设备的人员，又称为空态无尘车间。
▲At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设备皆已完成的无尘车间，设备已加载并可以操作或已在运转，但没有操作设备的人，又称为静态无尘车间。
▲Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状态可以呈现和达到其正常的功能，又称为动态无尘车间。
▲空气洁净度：表示空气洁净的程度，以含尘浓度衡量，含尘浓度高则洁净度低，反之则高。
▲空气洁净度级别：以数字表示的空气洁净度级别，级别越高，数字越小，洁净度则越高，反之洁净度越低
▲级别上限：级别含尘浓度的最大上限值。
▲浮游菌浓度：经过培养得出的单位体积空气中的菌落数个/m。
▲沉降菌浓度：用Φ90mm的培养皿静置室内30min,然后培养得出的每个皿的菌落数。
▲尘埃粒子：表面和气体中的固体物质。
▲颗粒：颗粒可以定义为特定尺寸，液态或固态或两种状态的物质。由美国联邦209E标准定义的粒度范围为0.001微米至1微米。 ISO 14644标准将粒子定义为具有确定物理边界的小粒子。
▲颗粒浓度：每单位体积空气中的颗粒数。
▲粒径：粒子出现在显微镜观察平面上的最大线性形状因子，或由自动检测器检测到的粒子当量直径。
▲超细颗粒：颗粒的范围从约0.01微米到离散颗粒计数器的颗粒尺寸检测的上限。
